光刻機
佳能新發售KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”Grade10升級包
“Grade10”升級包將助力該設備在300mm晶圓規格基礎上，以每小時高達300片晶圓的加工能力實現半導體光刻行業內的更高水平。.
購買ASML光刻機設備，晶瑞股份“備糧”加碼高端光刻膠
9月29日，晶瑞股份發布公告，披露了其向不特定對象發行可轉換公司債券預案，并擬購買ASML光刻機設備，以加碼其光刻膠業務。募資5.50億元攻堅ArF光刻膠公告顯示，公司于9月28日召開第
ASML：從荷蘭向中國出口DUV光刻機無需許可證
本土晶圓代工企業崛起之際，設備進口議題備受關注。光刻機龍頭ASML近日表示，從荷蘭向中國出口DUV光刻機無需許可證。 根據當前法規，ASML無需獲得美國出口許可證便可以繼續從荷蘭
ASML：三季度交付60臺光刻機，營收近40億歐元
10月14日，光刻機制造商ASML發布三季度的財報。公司第三季度凈銷售額為39.58億歐元，同比增長32.6%；凈利潤為10.62億歐元，同比增長29.3%。財報顯示，在三季度近40億歐元的營收中，30.9
ASML全新EUV光刻機將于2021年發貨，生產效率提升18%
據《科創板日報》消息，ASML公布了EUV路線圖上的新機型TWINSCANNXE:3600D的最終規格，這是30mJ/cm2的曝光速度達到每小時曝光160片晶圓，提高了18%的生產率，并改進機器匹配套準精度至1.1納米
英唐智控：收購先鋒微技術獲日本批準，自有設備含日產光刻機
2020年8月24日，深圳市英唐智能控制股份有限公司（以下簡稱 英唐智控 ）在互動平臺上回答投資者提問時表示，公司針對先鋒微技術的收購事項已經獲得日本政府批準，先鋒微技術自有
英唐智控：收購日本光刻機制造商先鋒微技術已獲日本政府批準
英唐智控回應道：先鋒微技術光刻機主要用于模擬芯片的制造，在滿足其自身生產研發需要的前提下，不排除向具備條件的其他客戶提供產能支持，但公司目前尚未啟動該類型的合作。
為擴產做準備 粵芯半導體更先進光刻機已進廠
近日有消息稱，廣州粵芯半導體更先進光刻機已進廠，為擴產做好最重要準備，南方網記者從投資方智光電氣確認了該消息。資料顯示，粵芯半導體成立于2017年12月，粵芯半導體的注冊
2019年ASML光刻機出貨26臺 3納米設備產品或2021年問世
在晶圓代工龍頭臺積電將于 2020 年正式量產 5 納米制程，而競爭對手三星也在追趕的情況下，目前兩家公司也在積極研發更先進的 3 納米制程。這些先進半導體制程能研發成功，且讓未
北京加快突破光刻機“卡脖子”難題
我國正加速實現中高端光刻機的國產化。近日，亦莊企業北京國望光學科技有限公司增資項目在北京產權交易所完成。通過此次增資，國望光學引入中國科學院長春光學精密機械與物理
科研成果作價入股 國望光學加快光刻機量產速度
8月14日，記者從經開區企業北京國望光學科技有限公司獲悉，其增資項目在北京產權交易所完成。通過此次增資，國望光學引入中國科學院長春光學精密機械與物理研究所和中國科學院
華虹無錫首批光刻機即將搬入；Q1全球DRAM品牌廠營收排名；粵芯半導體12英寸生
華虹無錫項目聯合體總包單位十一科技官方消息顯示，5月24日，華虹無錫項目舉行第十一次推進會暨首臺工藝設備搬入儀式，并進行了華虹七廠授牌儀式。華虹宏力總裁、黨委書記唐均
光刻機的蛻變及專利分析
近兩年，中國芯片產業受到了嚴重打擊，痛定思痛之余也讓國人意識到芯片自主研發的重要性。從2008年以來，十年間，芯片都是我國第一大宗進口商品，進口額遠超于排名第二的石油。
華虹無錫基地首批光刻工藝設備進場，9月試生產
2019年6月6日，華虹無錫集成電路研發和制造基地（一期）12 英寸生產線建設項目首批三臺光刻機搬入儀式舉行。光刻設備的搬入標志著華虹無錫基地項目建設進入新的里程，整個項目也
EUV光刻機研發挑戰仍存，本土企業如何突破技術成本關?
光刻是芯片制造技術的主要環節之一。目前主流的芯片制造是基于193nm光刻機進行的。但是193nm的光刻技術依然無法支撐40nm以下的工藝生產，為了突破工藝極限，廠商不得不將193nm液浸技
我國科學家另辟蹊徑造出9納米光刻試驗樣機
4月10日記者從武漢光電國家研究中心獲悉，該中心甘棕松團隊采用二束激光在自研的光刻膠上突破了光束衍射極限的限制，采用遠場光學的辦法，光刻出最小9納米線寬的線段，實現了從